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[ 제 3 회 ]정해도(공학상ㆍ부산대 기계공학부 교수)
2004-04-24
고성능 메모리 및 비메 모리 반도체의 평탄화 기술개발 분야에서 세계 최고 수준의 연구력과 기술력을 보유한 업적이 높은 평가를 받았다. 이 기술은 1기가 D램 이상의 초미세 소자에는 반드시 필요한 공정이며 연구 결과를 상용화한 CMP 장비를 수출하여 일본 ‘미쯔토요 과학기술진흥협회’로부터 올해의 우수 외국과학자로 선정되기도 했다.